TMC氣浮綜合性主動(dòng)隔振系統(tǒng)LaserTable-Bas

LaserTable-Base是現(xiàn)有光學(xué)平臺(tái)隔振技術(shù)的一大飛躍。通常,，光學(xué)平臺(tái)由低頻氣動(dòng)隔振系統(tǒng)支撐,。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動(dòng)系統(tǒng)實(shí)際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動(dòng),。

TMC的STACIS通過(guò)結(jié)合壓電致動(dòng)器和慣性振動(dòng)傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制,，可消除而不會(huì)放大極低頻振動(dòng),。LaserTable-Base將這兩項(xiàng)技術(shù)（空氣和STACIS）整合到一個(gè)集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應(yīng),，這實(shí)現(xiàn)了低頻率消振和*所未有的高頻隔振水平,。

LaserTable-Base的上部氣動(dòng)部分采用模塊化設(shè)計(jì)，可互換,。它可以結(jié)合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔振器或剛性,、非隔振支架,，具體取決于應(yīng)用要求。

規(guī)格

●采用*利STACIS®技術(shù)

●主動(dòng)慣性消振系統(tǒng)

●消振從低于1 Hz開(kāi)始

●加長(zhǎng)行程的壓電致動(dòng)器,，高達(dá)60微米,。

●6個(gè)主動(dòng)自由度

●由兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)組成，可實(shí)現(xiàn)最佳隔振效果

●采用*利MaxDamp®空氣隔振器

●簡(jiǎn)單,、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效

●可選的擱板,，用于在工作臺(tái)下方安裝設(shè)備

●包括TMC的DC-2020數(shù)字控制器

TMC氣浮綜合性主動(dòng)隔振系統(tǒng)LaserTable-Base性能

將低頻、被動(dòng)MaxDamp®空氣隔振器與壓電主動(dòng)消振系統(tǒng)串聯(lián)在一起,，可得到整體傳遞率曲線,，即兩條單獨(dú)傳遞率曲線的總和。由此產(chǎn)生的隔振性能非常顯著,，在某些頻率范圍內(nèi),，我們受到測(cè)量?jī)x器噪聲基底的限制。并且無(wú)法測(cè)量和演示完整的隔振性能,。也就是說(shuō),，在10-12 Hz以上，組合系統(tǒng)的實(shí)際性能預(yù)計(jì)將超過(guò)所示性能,，因?yàn)榻M合隔振理論上是兩個(gè)子系統(tǒng)所提供的隔振的總和,。

使用VC-A（2,000 μ英寸/秒，50 μ米/秒）的模擬振動(dòng)來(lái)測(cè)試2,000磅（907千克）有效載荷

應(yīng)用照片